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技術開発名 大容積超高真空調整・制御
キーワード  ・ 超高真空     ・ 大容積      ・ 真空材料
 ・ 真空機器
担当代表者名 増 ア 貴
所属・役職名 核融合システム研究系 准教授
所内共同開発者名
(所属・役職名)
 飯 間 理 史
( 技術部長 )
 
技術開発分野
(●が該当)
 ・ ライフサイエンス     ・ 情報通信       ・ 環境
 ・ ナノテクノロジー,材料 ● エネルギー    ● 製造技術
 ・ 社会基盤         ・ フロンティア     ・ その他
技術開発概要
  • 体積が約200立方メートルの真空容器で5×10-9Torr以下の超高真 空を、また、超伝導に必要な約550立方メートルの断熱真空容器で1×10-6Torr程度の真空を実現した経験を活かして、研究、製造等に必要 な真空を開発する。
  • ニーズに合わせて、真空材料、真空機器等を選択することにより、小体 積から大容積まで、超高真空から低真空まで、各種の真空を実現することが可能。
  • 必要に応じてリーク試験装置を使用する。
共同開発等可能分野・用途,創造性等
  • 真空を必要とする分野とは、基本的に共同開発が可能。
  • 超伝導関連(断熱真空)、エネルギー開発関連の真空は、保有している技術をそのまま開発に利用することが可能です。風洞等の大容積、超高真空でも直接的に適用できます。
  • 半導体製造、食品製造、化学・医薬品製造等の製造分野でも、これまで にないニーズを実現するための真空技術の開発が可能と考えています。
主な使用可能機器名 リーク試験装置
 知的所有権
(名称・特許番号または出願番号等)
 
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