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技術開発名 走査電子顕微鏡を用いた材料表面観察と組成分析
キーワード> ・ 金属材料    ・ 蛍光X線分析    ・ 高倍率観察 

担当代表者名 室 賀 健 夫
所属・役職名 核融合システム研究系   ・  教 授

所内共同開発者名
(所属・役職名)
 長 坂 琢 也
( 核融合システム研究系 ・  准教授 )
・ ライフサイエンス       ・ 情報通信      ・ 環境
 ● ナノテクノロジー,材料  ・ エネルギー    ・ 製造技術
 ・ 社会基盤           ・ フロンティア    ・ その他
技術開発分野
(●が該当)
走査電子顕微鏡を用いて、材料表面、接合界面、機械試験後の破面を観察し、さらに蛍光X線分析により、化学組成を測定する。

倍率:35〜10000倍以上
分析可能元素:原子番号5以上(Bより重い元素)
技術開発概要
  • 材料の微細組織観察と評価
  • 焦点振動が深いため、光学顕微鏡と比較して、凹凸の激しい表面の観察に適しています
  • 焦点調整、非点補正が半自動化されているため、特別な知識や経験が必 要ありません
共同開発等可能分野・用途,創造性等 走査電子顕微鏡、蛍光X線分析装置
主な使用可能機器名
知的所有権
(名称・特許番号または出願番号等)
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