10
技術開発名 X線光電子分光によるセラミック材料表面原子の化学結合状態評価
キーワード ・ X 線     ・ 光電効果     ・ 化学結合
担当代表者名 室 賀 健 夫
所属・役職名 核融合システム研究系  ・ 教 授
所内共同開発者名
(所属・役職名)
技術開発分野
(●が該当)
・ ライフサイエンス       ・ 情報通信      ・ 環境
 ● ナノテクノロジー,材料  ・ エネルギー    ・ 製造技術
 ・ 社会基盤           ・ フロンティア    ・ その他
技術開発概要 X線光電子分光分析装置を用いたセラミック材料表面原子の電子状態の測定によって、材料表面の構成原子の同定・定量、及び、材料表面原子の化学結合状態の同定・定量を行い、耐食性・絶縁性・非金属不純物不透過性のセラミック材料開発を行っています。
  • 高速アルゴンエッチングにより数μmまでの深さ方向分析が可能
  • 最小分析面積はφ75μm
  • 最大15kV、400Wの小型X線発生器を使用
共同開発等可能分野・用途,創造性等
  • 腐食試験を始めとした機能試験前後での表面の微妙な結晶状態変化(構成原子比や化学結合状態)の測定
  • さまざまなセラミックス材料のごく表面での結晶状態を測定する事ができます。
  • 耐腐食・高絶縁能・非金属不純物不透過といった化学的な用途に長期間耐えうるセラミックス材料の開発ができます。
  • セラミック薄膜試料の測定も可能です。
主な使用可能機器名 X線光電子分光分析装置
知的所有権
(名称・特許番号または出願番号等)
 
一覧へ