2025.2.17 NIFS談話会

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日時

2026年1月8日（木） 13:30～15:00

場所

核融合科学研究所（管理・福利棟４階　第一会議室）/ Zoomハイブリッド開催

講師

豊田 浩孝
名古屋大学工学研究科 教授

講演タイトル

半導体プロセスプラズマの計測

講演概要

プラズマ気相成長、プラズマエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマでは様々な分子ガスが用いられ、その中には分子の原子間結合が切断されて化学的に活性となった中性粒子種（ラジカル）、分子イオン、さらには高エネルギーとなった中性粒子や正負イオンが存在し、それらは様々な形で加工プロセスに大きな影響を与える。したがって、これらのプラズマ中における粒子の振る舞いを計測することはプロセス制御の指針を得るうえで非常に重要となる。講演では、プラズマ中のラジカル、分子イオンの計測例を紹介するとともに、シース内での電荷交換を経て生成された高速中性粒子、高エネルギー負イオンについて、エネルギー分解質量分析から得られた知見について示す。さらに、高周波電極に入射する高エネルギーイオンの詳細な角度分布計測例や角度拡がりがエッチングに及ぼす影響についても触れる。

講師略歴

1988年 名古屋大学工学研究科博士課程後期課程修了（工学博士）
1988年 名古屋大学助手
1992年 名古屋大学講師
1992~1993年 アメリカウィスコンシン大学マジソン校 客員助教授
2000年 名古屋大学工学研究科助教授
2006年 名古屋大学工学研究科付属プラズマナノ工学研究センター助教授
2007年～現在 名古屋大学工学研究科教授
2019年～現在 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター副センター長（兼任）
2020年～現在 自然科学研究機構核融合科学研究所特任教授

講師Webページ

https://profs.provost.nagoya-u.ac.jp/html/100001777_ja.html

使用言語

講演：日本語、講演資料：日本語

参加費

無料

お問い合わせ

核融合科学研究所 学術企画委員会 担当 吉村 信次
nifs-meeting[@]nifs.ac.jp（送信時は[ ]を外してください）